多層膜膜厚（GaAs/AlAs超晶格）標準物質
Multi-layer thin film thickness CRM of GaAs/AlAs superlattice
校準儀器和裝置；評價方法；工作標準；質量保證/質量控制；其他
真空包裝，陰涼、干燥處存放
樣品為一次性樣品，開封后立即使用。
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標準值 | 不確定度 | 單位 | 備注 | |
| 膠質層最大厚度氧化層 | （0.98） | (mm) | |||
| 膠質層最大厚度第一層 | （20.12） | (mm) | |||
| 膠質層最大厚度第二層 | 10.60 | 0.18 | (mm) | ||
| 膠質層最大厚度第三層 | 10.06 | 0.20 | (mm) | ||
| 膠質層最大厚度第四層 | 10.58 | 0.18 | (mm) | ||
| 膠質層最大厚度第五層 | 10.07 | 0.18 | (mm) | ||
| span id="ctl00_ContentPlaceHolder1_rpt_List_ctl00_lbl_CompName">膠質層最大厚度第六層 | 10.58 | 0.18 | (mm) |